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封头气压的设定保护气压力,为了防止出现微漏

更新日期:2018-4-11 16:37:54    点击:200
封头气压的设定保护气压力,为了防止出现微漏,炉内保护气应保持一定的正压,如果是氢气保护气,一般要求20kBar以上。退火气氛:一般都是采用纯氢作为退火气氛,气氛纯度最好是99.99%以上,如果气氛中另一部分是惰性气体的话,纯度也可以低一点,但是绝对不能含有过多氧气、水汽。
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